精密测量仪器分类如下：长度几何量测量仪器：三坐标测量机，多功能角度测量仪，齿轮测量仪，长度测量仪，多功能工具显微镜，表面粗糙度测量仪，轮廓测量仪，光学投影仪，圆度（圆柱度）测量仪，凸轮轴（曲轴）测量仪，滚刀测量仪，激光测长机，等等。
电学测量仪器：电压，电阻，电流等测量仪器，工程力学测量仪器：多功能测力（拉力、压力）计，度量衡称重仪器等。
光学测量仪器：显微镜，经纬仪，光学转台，影象测量仪，光学频普测量仪，准直光管等。声学、材料、金相、物理、化学等分析测量仪器等。
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